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离子注入机：先进工艺的秘密武器 🔧 🔥 热机状态：国内产线正在使用中 🔥 商品名称：离子注入机商品编号：T01231 制造商：日新离子机械株式会社（Nissin Ion Equipment）型号：EXCEED 3000AH 制造日期：2005年设备状态：热机，国内产线使用中配备分压板：高压仓配备4mm铅版+9mm钢板，Beam Line和End station配备9mm钢板主机控制系统：液晶显示器、双硬碟系统（工作硬碟、备份硬碟）外部附属设备：1台变压器、1台压缩机、2台干泵高压仓部分：离子源：间接加热式（IHC）长寿命离子源，寿命可达300小时源气箱：提供4路气体（BF3、PH3、AsH3、Ar）供给装置，提供SDS气瓶介面（二手设备） SAM磁场：分析角度120度，利用不同品质与不同带电荷的离子在经过磁场时，因为洛伦磁力效应，将产生不同的转弯半径，可以将非理想的掺杂离子分离，留下注入离子加速管：用来增加经过SAM后的离子束的能量，内部主要使用聚焦镜及电压使离子束能够加速通过靶台：具备X-tilt、Y-tilt、Twist三向运动能力配备12英寸静电吸盘（ESC），可以进行300mm（12吋）晶圆注入，具有冷却功能，冷却方式为水冷真空机械手：配备双机械手，可交替作业 Load Lock：配备双片库，可交替作业定向台：配备12吋缺口对准器，可以对12吋晶圆进行方向校准真空泵配置：高压仓和Beam Line部分粗抽泵配干泵，高真空泵配分子泵; End Station部分粗抽泵配干泵，高真空泵配冷泵干泵：选型品牌为EBARA、ADIXEN，整机配置4台分子泵：选型品牌为SHIMADZU，採用行业通用的磁悬浮结构，整机配置3台冷泵：选型品牌为ANELVA，具备自动再生能力，整机配置4台工艺气体系统：工艺气体管路具备自动吹扫功能，可以满足源气转换、更换气瓶或气路检修时使用需求，工艺气体通过MFC控制流量，压力规测量气路压力其他配置：设备配置完善的安全互锁配置，包括EMO连锁装置，高压门连锁装置，漏水检测，烟感报警装置外观：设备外观及油漆表面基本没有缺陷标签：所有的显示器，电线，控制器和动力连接管路有清晰完整的标签慈喀SEO百科客服QQ:853616368(具体细节可以问他)

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